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第98頁(2 / 2)

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沉默許久之後,抬頭看了一眼對面的秦浩,誇讚道:「你們三個真的很厲害,耗費一點時間不算什麼,只要能夠做出讓人驚艷的作品就行,而且相較於其他人的任務,你們的任務更重。

把圖紙交上來之後,這邊你們暫時就沒有什麼事情需要忙了,老師會儘快給你們安排新的任務,這台雷射器也會儘快製作出來。」

「這樣我們就放心了,那我就先離開了。」

「你先去吃飯,順便休息一下。」

秦浩點點頭,轉身離開。

依舊端坐在椅子上的閆旭東,還在震驚地看著眼前的圖紙。

雖然秦浩沒有說明,但他很明顯能夠看出來,雖然這台雷射器經過了大改造,但是它與其他部分連接的尺寸是不變的。

也就意味著當它製作出來之後,能夠完美地與其他光刻機設備融為一體,屆時操作將會更加簡便和穩定。

能夠在完成大改造的同時,也注意到這些細枝末節,很不簡單。

這個小項目的順利完成,也算是他們與計算科技研究所合作的一個進步,對方現在可是再不停地催促。

他感覺最近老師的白頭髮都多了不少,估計是煩的。

因為合作的原因,閆旭東嘴裡的休息也不過是一個下午,第二天三人就被分配了新的任務。

李筠被分到研究半自動接近式光刻機的趙本民教授,因為姜文澤教授接觸式這裡人手充足,而新開發的接近式和投影式還處於正在開發的階段,需要的人手不少,像是其他兩人就被分到了投影式實驗室。

說來,她第一次來到實驗室看到的就是接觸式和投影式的對抗現場,就是不知道後面結果如何。

人手是真的缺,她剛到實驗室,就被趙本民教授的助手趙蔓分配到負責物鏡的組別。

可以說,除了光源之外,光刻機的研究當中,鏡頭就是其最核心的部分,包括物鏡和曝光台。

李筠被分到的是物鏡觀察,她需要一遍又一遍地觀察從雷射器發射而來的雷射,通過矯正器、能量探測器、光束形狀設置、遮光器到達掩膜台後,透過物鏡在矽片上顯影蝕刻製作晶圓。

物鏡可以調整光束的形狀,入瞳、透過平面、出瞳,將掩膜上的電路圖案調整縮小,聚焦成像在晶圓上。

對於像差調節的要求特別高,不確定性很大,她自己都不敢說,什麼時候才能調整出最合適的比例。

唯一值得慶幸的一點就是,接近式光刻機在掩膜板與光刻膠基底層留有一個狹窄的空隙,不會沒進行一次嘗試就要擔心掩膜被污染,只得關閉設備重新再來一次。

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